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詳細介紹
OTF-1200X-4-RTP-HV是一款精巧型快速熱處理管式爐(4" 石英管)， 配有高真空系統（機械泵 +分子泵) ，帶KF-D25 真空法蘭.它是專為半導體或太陽能電池基片（達3“）的退火而設計，采用10KW紅外燈管加熱，升溫速度為 120°C/second. 30 段溫度控制，精度為 +/-1°C. 計算機通過RS485口和控制軟件實時控制爐子和顯示溫度曲線 。
技術參數
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爐子 | 結構 |
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| 加熱元件 | 8根紅外燈管(D=10 L=300 T =200, mm) | ||||||
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工作溫度 |
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| 升溫速度 | 室溫~800℃： 50 oC/sec ，800℃~1000℃ 10oC/sec | ||||||
| 降溫速度 | 64°C/min (在真空: 200 mtorr下), 117°C/min (在一個大氣壓下) | ||||||
| 加熱區 | 4" X12"恒溫區（ +/-5°C ） | ||||||
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溫控儀 |
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石英管和樣品架 |
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| 真空法蘭 |
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| 流量計 | 裝在前面板上一路流量計調整范圍 16 - 160 ml/min | ||||||
| 電源 | 208-240 AC, 50/60 Hz 單相, 10 KW Max. (> 60A 保險) | ||||||
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高真空系統 | 結構 | 移動架尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(W), mm 分子泵控制面板 : LCD 顯示 前級泵 和 分子泵 安裝在移動架里面. | |||||
| 真空度 | 6.3E-5 mbar ( 4" RTP 管式爐在 40 minutes內) | ||||||
| 控制面板 | 一鍵操作 - 按一下“start"鍵，前級泵和分子泵便開始工作. 系統控制轉速 - 根據真空度和腔體的漏氣情況自動調整轉速. 自保護功能 - 如果真空腔體漏氣率太高不能達到高真空，系統會自動保護，避免因過熱或過流而造成損壞。 LCD 顯示屏 - 雙線性參數檢查界面，使操作更簡單. | ||||||
| 啟動時間 | 2 minutes | ||||||
| 前級泵在10mbar下的流速 | 3.8 L/min 50Hz ， 4.4 L/min 60Hz | ||||||
| 電源 | 110V AC 和220V AC 任意切換, 50/60Hz | ||||||
| 功率 | : 110Watt | ||||||
| 包裝 | 重量和尺寸 | RTP 爐子: 110 lbs, 760 x 330 x 530mm (30" x 13" x 21" inch) L x W x H 高真空系統: 40 lbs, 600 x 600 x 700mm (24" x 24" x 28") L x W x H | |||||
| 保修期和認證 | 電氣部分一年保修期. (耗材：如石英管，"O"圈和加熱燈管等不在保修范圍內） CE 認證 | ||||||
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