1200℃5英寸三溫區旋轉CVD管式爐--OTF-1200X-5L-R-CVD

名稱

1200℃5英寸三溫區旋轉CVD管式爐--OTF-1200X-5L-R-CVD

爐體結構

采用雙層殼體結構，并帶有風冷系統。

高純氧化鋁纖維材料作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命）。

一個直流電機驅動爐管轉動，轉速可調。

爐體開啟式設計，方便更換爐管。

爐體可以傾斜，傾斜角度可調。

設有開門斷電功能，提高實驗安全性。

基本參數

溫度：1100℃（1200℃<1h）。

建議升溫速率：≤10℃/min。

熱偶：K型熱偶

電源：AC 208-240V，50Hz 。

功率：4KW

加熱區長度：600mm，三溫區：150mm+300mm+150mm。

爐管尺寸

異型石英管，內部焊接有揚料板，使粉體燒結更加充分和均勻。

尺寸：100 O.D×1200 L mm（異型管）

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁（表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長使用壽命）

溫控系統

兩個溫區分別有兩個獨立的溫控系統控制。

包含一款YD518型溫度控制器。

PID自動控溫系統。

智能化30段可編程控制。

控溫精度：±1℃。

默認DB9 PC通信連接端口。

通過MET認證

可選購電腦溫度控制軟件（用于YD518P系列控制器）用于控制升溫曲線和導出數據。

爐體傾斜角度

可調范圍：-5°—25°

氣密配件

采用磁流體法蘭密封

進氣系統

四通道精密氣體混合和輸送系統，配有觸摸屏，用于1-4種氣體CVD

注意：如果通入的是易燃易爆性氣體，必須將設備安裝在通風柜中。

外形尺寸

設備尺寸：1950 L×600 W×1320 H mm

混氣系統：600 L×750 W×700 H mm

凈重

回轉爐：約130Kg

使用提示

此套設備可以配合本公司連續送料裝置來達到連續進料的效果。

在收集粉末時需要在密封容器中傳送的情況下，可以在我公司購買與爐管一起安裝的密封裝置。這種裝置包括帶內螺紋法蘭、柔性波紋管、直角管、帶有蝶形閥的容器和支撐架。客戶可以很簡單的將帶有蝶閥的收集罐與設備斷開鏈接，并在運輸過程保持密封（圖三）

質保期

一年保修，終身技術支持。

特別提示：1、耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。

2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍。

真空系統

通過機械泵可達到10E-2torr。

通過分析泵泵可達到10E-5torr

可選購一個冷真空阱，以避免真空泵造成污染。

國家

名稱：一種可傾斜式回轉爐。

編號：ZL-2011-2-0162234.8

質量認證

所有電器元件（>24V）都通過UL/CSA/CE認證，若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證

使用注意事項

爐管內氣壓不可高于0.02MPa。

由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司購買減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa使用時會更加精確安全。

當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態。爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態。

進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

石英管的長時間使用溫度<1100℃。

對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱的實驗，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。

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