OTF-1200X-4-NW是一種緊湊型CVD爐，專為生長(zhǎng)各種納米線而設(shè)計(jì)，基片3英寸. 在法蘭的左側(cè)裝有一個(gè)小加熱器，可對(duì)輸入的氣體、液體、固體進(jìn)行預(yù)加熱，然后 進(jìn)入 CVD 爐進(jìn)行納米線的生長(zhǎng), 可滑動(dòng)的樣品架使操作更為簡(jiǎn)單.
| 性能指標(biāo)和基本配置 | |
|---|---|
| 爐體結(jié)構(gòu) | 緊湊型CVD爐是由OTF-1200X-4 單溫區(qū)爐演變而來(lái) : 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命 石英管：4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" L 工作溫度：1100oC 右邊帶樣品支架的法蘭是滑動(dòng)的，方便操作在加熱器和CVD爐之間的法蘭是預(yù)加熱氣體的通道，同時(shí)也起密封作用。 在爐子左側(cè)的小加熱器是對(duì)輸入CVD 爐的氣體、液體、固體或混合物進(jìn)行預(yù)加熱: 1.2''O.D x 6''L SS 作為加熱腔小加熱器工作溫度：600oC 左邊法蘭具有密封和氣體通道的作用。 詳細(xì)結(jié)構(gòu)請(qǐng)看下圖 |
| 加熱區(qū) | CVD 爐: 400mm 小加熱器: 150mm |
| 工作溫度 | CVD 爐:
小加熱器:
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| 工作溫度 |
控溫儀表操作視頻 |
| 真空和密封法蘭 | CVD 爐: 右法蘭:
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| 額定電壓 | 單相, 220V AC, 50/60 Hz, |
| 額定功率 | 3KW (要求20 A 空開(kāi)) |
| 外形尺寸 | 1200(L)X450(W)X510(H)mm |
| 重量 | 100kg |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期(不包括爐管，硅膠 O 型圈和加熱元件等損耗件.) |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | CE 認(rèn)證 所有電器元件（>24V）都通過(guò) UL / MET / CSA 認(rèn)證 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó) TUV 認(rèn)證或 CAS 認(rèn)證 |
| 注意事項(xiàng) | ①爐管內(nèi)氣壓不可高于 0.02MPa ②由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 ③當(dāng)爐體溫度高于 1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) ④進(jìn)入爐管的氣體流量需小于 200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 ⑤石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃ ⑥對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于 0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等） |
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