詳情介紹：
AL120晶圓搬送機可相匹配200mm下列晶圓尺寸的硅、化合物晶圓，能夠安全性高效率搬送薄片晶圓，特別適合于前道到后道工程項目的晶圓查驗。
晶片Trickness米將超薄晶圓片移至90微米為了滿足更薄的晶圓片的挑戰要求，奧林巴斯特別設計了轉移臂，現在允許25個200毫米晶圓片的完整盒式磁帶安全轉移和檢查，厚度可達90微米。晶圓片厚度*多可通過控制面板預先設定。
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