微電子半導體清洗設備 芯矽科技

芯矽科技（蘇州芯矽電子科技有限公司）作為國產半導體濕法清洗設備企業，專注半導體濕法清洗設備研發制造，融合超聲波、兆聲波及等離子體技術，可清除≥0.1μm顆粒，適配FinFET、GAA等制程，攻克高深寬比結構清洗難題，滿足5nm及以下制程潔凈度要求。設備搭載PLC+AI算法，溫控精度達±0.1℃，良率超99.5%，兼具環保優勢，熱回收技術降能耗30%，廢液回收率超90%。

產品覆蓋4-12英寸晶圓全場景，涵蓋單片、槽式清洗設備及專用機型，適配研發到量產全流程。核心產品12寸全自動晶圓化學鍍設備、石英清洗機已進入長江存儲、中芯國際等主流晶圓廠供應鏈，以高性價比、快速響應打破國外壟斷，成為國產替代，為半導體裝備國產化注入強勁動力。